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半導体・薄膜産業を支えるタフな真空計

経済産業省　中小企業庁の研究開発成果事例集に紹介されました

 
 2010年04月12日

 

アンペールではこの度、経済産業省、中小企業庁の戦略基盤技術高度化支援事業　

研究開発成果事例集、平成18年度～20年度研究開発プロジェクトに参加し、「半導体

・薄膜産業を支えるタフな真空計」として紹介されました。

真空機器の生産性の改善と生産コストの低減にお役たて下さい。

 

ＰＤＦファイルとしてダウンロード頂く事が可能ですのでご利用下さい。

 

  

 

 
 

 

 

タフゲージ

電離真空計　「タフゲージ」はグリッド および コレクタ電極を加熱して吸着性の高い分子をはね返す新しい発想のBA型電離真空計です。真空装置内の汚染物質として問題となるフタル酸、アジピン酸、シロキサンの雰囲気中でも感度の低下を抑え、10-7Pa から10Paまでの広範囲の圧力計測を長期間、高精度で測定することが可能です。

 

『タフゲージ』の特長はこちら　⇒
　

　　
　　
　　　　
　　　　

■ 本件に関するお問合せ先
アンペール
株式会社アンペール　産業機器営業部

http://fa.ampere.co.jp
〒160-0023 東京都新宿区西新宿7-5-3 斉藤ビル
TEL: 03-5330-6801 FAX: 03-5330-7027
 
 

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