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第10回日本真空工業会 表彰記事が情報誌に掲載されました。


国内で唯一の真空技術情報誌『真空ジャーナル』に紹介されました


 2011年01月25日

第10回日本真空工業会でイノベーション賞を受賞した陰極加熱型マグネトロン冷陰極真空計(Cold Cathode ToughGauge : CCTG)が真空技術の情報誌『真空ジャーナル』2011年1月 134号にて 2Pにわたって記事となりましたので紹介致します。


1. 開発製品の概要

2. 開発の狙い

3.苦労した点

3.1 マグネトロン型の採用

3.2 Si-SiC陰極とバイアス最適制御電源回路の開発

3.3 CF4ガスを用いたCCTGの耐腐食性・耐汚染性の試験

4.メンバー紹介

5.結語


上記内容詳細についてはPDFファイルを参照下さい。






 


■ 本件に関するお問合せ先
アンペール
株式会社アンペール 産業機器営業部

http://fa.ampere.co.jp
〒160-0023 東京都新宿区西新宿7-5-3 斉藤ビル
TEL: 03-5330-6801 FAX: 03-5330-7027

 
 

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