産業機器ソリューション

冷陰極真空計 CCTG研究開発完了のお知らせ
 
2009年06月24日
 
戦略的基盤技術高度化支援事業の事業認定を受けた開発研究が完了
 

この度、株式会社アンペール(本社:東京新宿)とと有限会社真空実験室が共同で取り組んで参りました、冷陰極真空計 CCTG研究開発が完了した事を報告致します。この全く新しい正マグネトロン型冷陰極真空計 CCTG(Cold Cathode Tough Gauge)の研究開発は、経済産業省の戦略的基盤技術高度化支援事業事業認定を受けています。国からの委託を受け、モノ作り基盤技術の高度化に資する革新的かつハイリスクな研究開発を行うものです。

 

平成20年度に研究開発を完了し、平成21年度中の事業化を予定しています。

 

 
戦略的基盤技術高度化支援事業 研究開発テーマ
 

有機性ガスによる汚染や腐食性の雰囲気に耐えられる信頼性の高い電離真空計を開発して、真空機器の生産性の改善と生産コストの低減を図る研究

  
  

プロジェクト

参画研究機関(企業)

株式会社 アンペール

有限会社 真空実験室

事業管理者名 株式会社つくば研究支援センター
契約期間  平成19年度 ~ 平成20年度
研究成果報告(リンク)

関東経済局 研究開発成果事例集

 

新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)

近日公開予定(詳細成果報告全60ページ)

 

有限会社真空実験室  http://www.vaclab.co.jp/

   
    
開発された製品・技術のスペック
   
1.耐久性
従来の電離真空計では計測不能なエッチングガス(CF4+02混合ガス、約0.01Pa)において、加速耐久試験を行い、他社の冷陰極真空計は5日目で比感度が半分以下に低下したのに対し、CCTGは60日間以上経過しても感度低下は全く起こっていない。
  
2.測定範囲・精度など
 圧力測定範囲:10-8 ~ 0.2Pa
 測定精度:±25%
 漏洩磁束: ヨーク面から1cmで100G以下
 バイアス: 5kV ~ 500V最適制御(計測圧力に最適な電圧に自動制御
 

 CCTG研究開発の詳細はこちら→

  
    
    

■ 本件に関するお問合せ先
アンペール
株式会社アンペール 産業機器営業部

http://fa.ampere.co.jp
〒160-0023 東京都新宿区西新宿7-5-3 斉藤ビル
TEL: 03-5330-6802 FAX: 03-5330-7027

 
 

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