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日本真空工業会表彰『イノベーション賞』を受賞

受賞テーマ: 「冷陰極電離真空計の超寿命化・高信頼化」

 2010年10月26日

 

2010年9月01日から3日間東京ビッグサイトで開催されました「VACUUM2010−真空展」において、日本真空工業会より第10回日本真空工業会表彰『イノベーション賞』を受賞しました。

 

受賞テーマ: 「冷陰極電離真空計の超寿命化・高信頼化」
受賞者: 渡辺 励起 , 野崎 建彦

受賞理由:冷陰極電離真空計の長寿命化・高信頼化にかかわるもの。従来の冷陰極電離真空計は、ハロゲンやオゾンなどの汚染性・腐食性ガスの環境では、感度が低下して極端な場合には放電が停止して計測できなくなる問題があった。マグネトロン型の冷陰極真空計のセラミックスのカソードの加熱と、放電電流の制御によって、カソードのスパッタリングによる損失を大幅に低減し、感度低下の問題を解決、長寿命化を図った。この結果、極めて過酷な雰囲気でも十分に実用に耐える冷陰極電離真空計が完成した。
経済産業省の「戦略的基盤技術高度化支援事業」を活用した事例で、今後の事業化が期待できるもの。イノベーション賞に相応しい。

 

 
 
  日本真空工業会・表彰制度について → (外部リンク)

 

CCTGの特長

 ・腐食性ガス中でも感度低下せず動作可能です。
腐食性のエッチングガス(CF4+O2混合ガス)中で100日の比感度推移を見る実験を行いました。 従来の電離真空計(熱陰極・冷陰極)では5日目位で比感度が半分以下に低下したのに対し、 CCTGは100日間以上経過しても感度低下は全く生じませんでした。 Si含浸Sic陰極(カソード)加熱による特長です。(特許申請中)

 

・過酷な使用環境・超高真空でも安定した放電を維持・開始できます。
一般の冷陰極型真空計では、この様な環境では放電ストップ(計測不能)となる場合があります。

  

・タフモード(常時加熱モード)によりカソードを常時クリーニングしています。
一般の冷陰極真空計は、汚れた場合、ユーザ又はメーカにてのクリーニングが必要です。 CCTGはメンテナンスフリーを目指しています。 (測定子の内部電極のみの交換も可能です。)

   

・低漏洩磁束でドライバーやネジがくっつきません。(作業性向上)
冷陰極真空計には磁石が使われており、ドライバー等がくっつき作業性が悪くなります。 CCTGは低漏洩磁束なので、そのようなことは起こりません。

 

・最適な電圧制御(特許申請中)
独自のソフトウェア制御で、電極のダメージを最小限に留めており長持ちさせます。

   

  
    
    

■ 本件に関するお問合せ先
アンペール
株式会社アンペール 産業機器営業部

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