真空計 タフゲージ
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汚れに強く、高精度、長寿命
・・・メンテナンスの手間とコストを削減. 感度が変化しない真空計
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真空計は計測するガスによって汚染されます。
従来の電離真空計はグリッドの汚染によりフィラメントが短寿命、感度低下、エミッション停止などの問題が発生します。また、コレクタの汚染は感度が低下することで正しい測定が出来ず、真空が良くなったとの誤った判断をすることになりフェールセイフに働きません。その為従来製品は短期間に交換が必要な消耗品として扱われ、頻繁な交換作業とその為の無駄なコスト・時間が発生していました。
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【フタル酸ジエチル中曝露試験グリット比較】（0.1Pa、22ｈours）
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汚染ガス中に常温（タフモードOFF）の電極を曝露したのが左写真。電極を500℃に加熱（タフモード500℃）しながら汚染ガスに曝露したのが右写真です。汚れが付くと、実際よりも低い圧力を示すようになり正しい圧力測定ができません。
右側はご覧の様に汚染を防ぎ、清浄を保っています。真空容器内に入れてあるもの（プラスチックやゴム、電線被覆、試料など）に由来する残留ガスや、製造工程で使用するガスなどが真空計電極を汚染します。
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汚染に強く感度が落ちないこの真空計『タフゲージ』は、真空装置内の汚染物質として問題となるフタル酸、アジピン酸、シロキサンの雰囲気中でも感度の低下を抑え、1x10-7Pa から10Paまでの広範囲の圧力計測を長期間、高精度で測定することが可能です.
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アンペールが提供する真空計の種類
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