産業機器ソリューション

真空計 タフゲージ


汚れに強く、高精度、長寿命

・・・メンテナンスの手間とコストを削減. 感度が落ちにくい真空計


感度が落ちない真空計

真空計は計測中に真空装置内から発生するガスにより汚染されます。
従来の電離真空計はグリッドの汚染によりフィラメントが短寿命、感度低下、エミッション停止などの問題が発生します。コレクタの汚染は感度が低下することで正しい測定が出来ず、誤った判断を犯してしまいます。その為従来製品は短期間に交換が必要となり、頻繁な交換作業とその為の無駄なコスト・時間が発生していました。


真空計グリッドの汚染例

真空蒸着装置/スパッタ装置  →  プラスチック可塑剤が蒸発 フタル酸、アジピン酸

真空装置内の配線、モータ、シール材  →  シロキサン、潤滑油蒸気などが発生

半導体製造装置  →  有機金属原料ガスの付着  レジストなどが残留

エッチング装置  →   腐食性・強酸化性ガス



電極を加熱しながら計測
加熱しながら測定可能な真空計

【フタル酸ジエチル中曝露試験グリット比較】(0.1Pa、22hours)


汚染ガス中に常温(タフモードOFF)の電極を曝露したのが左写真。電極を500℃に加熱(タフモード500℃)しながら汚染ガスに曝露したのが右写真です。真空計は汚れが付くと、正しい圧力測定ができません。
右側はご覧の様に汚染を防ぎ、清浄を保っています。真空容器内に入れてあるもの(プラスチックやゴム、電線被覆、試料など)に由来する残留ガスや、製造工程で使用するガスなどが真空計電極を汚染します。

汚染に強く感度が落ちにくいこの真空計『タフゲージ』は、真空装置内の汚染物質として問題となる有機性汚染ガスの雰囲気中でも感度の低下を抑え、広範囲の圧力計測を長期間、高精度で測定することが可能です.



CF4+O2混合ガス連続計測 CCTGと市販標準電離真空計との比感度推移

真空比感度推移

従来の電離真空計では計測不能なエッチングガス(CF4+O2混合ガス約0.01Pa) において冷陰極真空計の比感度が5日目で半分以下に低下したのに対し、CCTGは100日以上経過しても感度低下は生じません。


真空計 タフゲージの特長

 
1.有機性汚染ガス中で感度が低下しにくい
  • コレクターとグリッドを加熱しながら圧力を測定します。
  • 汚染物質が電極に吸着するのを防ぎ、高精度の圧力測定が長期間にわたり可能です。
  • タフモードはグリッド(白金被覆モリブデン)とコレクタ(白金被覆モリブデン)を300、500、700℃の温度いずれかを選択して加熱します。オフモードは両電極の加熱を停止します。デガスモードは900℃で両電極を加熱します。圧力信号を取り出すコレクタ電極はヘアピン形状で高絶縁の新方式高周波通電で加熱し圧力計測に影響を与えません。
2.常に真の圧力を表示
  • 電極を清浄に保つので電子/イオンの軌道が安定し感度の変化が少なくなります。
  • グリッドを加熱することにより、電子衝撃脱離(ESD)誤差が排除され10-5Pa以下も正確に測定します。
3.メンテナンスフリーで経済的
  • 真空計の感度低下がなく長期間測定子の交換が不要です。
  • 測定中に測定圧力の限界を越える圧力上昇には保護回路が働いて、瞬時にフィラメント電流をオフします。
4.PCアプリケーションによるログ取得
感度が低下しない真空計
表示が切り換わる

タフゲージラインナップ

 
 真空計タフゲージ
 
種類 製品型番 形状 圧力測定範囲(N2)

BA


TG100

トランスミッタタイプ

LCD表示付

1x10-7Pa ~10Pa

TG200 トランスミッタタイプ

1x10-7Pa ~10Pa

TG102S セパレートタイプ

1x10-7Pa ~10Pa

コンビネーション(ピラニ+BA)

TG201C トランスミッタタイプ

1x10-7Pa ~10+5Pa

TGC103CS

セパレートタイプ

1x10-7Pa ~10+5Pa

ピラニ TG201P トランスミッタタイプ

1x10-1Pa ~10+5Pa

冷陰極

CCTG110S

セパレートタイプ

1x10-8Pa ~10Pa

CCTG200

トランスミッタタイプ

110-8Pa ~10Pa

※ トランスミッタタイプは測定子と製品筐体を直接接続する形状の製品

※ セパレートタイプは測定子とコントローラをケーブルで接続する形状の製品

※ BA型タフゲージの校正証明書発行は別料金です。

 

タフゲージの用途



 

タフゲージは下記のような用途に適しています。

既存製品をご使用されるよりも更に精度の高い測定とメンテナンス負荷の大幅低減が可能となります。


  • 真空蒸着装置
  • スパッタ装置
  • イオン注入装置
  • LPCVD装置
  • 真空炉
  • 電子顕微鏡
  • エッチング装置
  • 加速器
  • 真空排気装置

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