産業機器ソリューション

冷陰極電離真空計CCTG100S

 

本製品は終了いたしました。後継製品はCCTG110Sとなります。

 

 

CCTG100S
「コントローラ寸法図」(画像クリック)
CCTG-100コントローラ寸法図
「ヘッド寸法図」(画像クリック)

 CCTGC-100ヘッド寸法図

 

コールドカソードタフゲージの特長


CCTGは冷陰極真空計でありながら、陰極を加熱することが特長です。

有機性ガスによる汚染や腐食性の雰囲気に耐えられる信頼性の高い電離真空計です。

陰極を加熱することで、汚染物質がカソード表面に付着するのを防ぎ(陰極表面を清浄に保つ)、放電持続性、放電スタート性を向上させました。

また、従来の電離真空計では計測不能なエッチングガス(CF4+O2混合ガス約0.01Pa)において他の陰極真空計の比感度が5日目で半分以下に低下したのに対し、CCTGは100日間以上経過しても感度低下は全く生じません。下グラフを参照下さい。


CF4 + O2 混合ガス連続計測におけるCCTGと市販真空計の標準真空計に対する比感度推移

真空計感度比較表  


①陰極加熱構造(特許申請中)

・汚染、腐食性ガス中でも感度低下せず動作可能

・過酷な使用環境・超高真空でも安定した放電を維持・開始


CCTG概念図
CCTG概念図
 

②脱ガス、セルフクリーニングできる冷陰極真空計

・熱陰極真空計のように脱ガス時はカソードを約900℃までフラッシュ加熱

・タフモード(常時加熱モード300℃~700℃)を使用し、常時クリーニング可


加熱中(約900℃)Si-SiCカソード

加熱中(約900℃)のSi-SiCカソード
 
③高信頼、ワイドレンジ、低漏洩磁束・低漏洩磁束(周囲200G以下)でドライバーにくっつくことなく、作業効率がアップします。

④圧力計測に最適な電圧に自動制御(特許申請中)

独自のソフトウェア制御で、電圧の最適制御を行い電極のダメージを最小限に留め、高いリニアリティーと高いレスポンスを両立します。



CCTG100S 基本仕様


 
名称

コールドカソードタフゲージ100S

(Cold Cathode Tough Gauge 100S)

圧力測定範囲(N2)

1x10-8Pa ~ 0.2Pa (ICF70フランジ使用時)

表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC85V~240V
消費電力

最大消費電力:40VA(5mケーブル、デガス時)

測定時消費電力:20VA(5mケーブル、500℃タフモード時)

漏洩磁束 ヨーク面から1cmで200ガウス以下
バイアス 5kV~500V最適制御(計測圧力に最適な電圧に自動制御)
タフモード(汚染防止) カソードの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード カソードを900℃に通電加熱
コントローラ使用温度範囲 0~40℃
外部入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
外部出力信号

アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点x2系統(フォトモスリレーによる a接点)

測定状態信号、アラーム信号

コントローラ外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm
質量

測定子NW25タイプ 910g、ICF70タイプ1.2Kg、

コントローラ1.3Kg

入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ、HUコネクタ、HTコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF)、ICF70(NW40CF) の2タイプ
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 3芯特殊ケーブル5m (長さ任意製作可)
 

CCTG100S関連製品型番

 
品名 型番 仕様・備考
CCTG100S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG100S-001(5m) バイトンシール NW25
ネオジウム磁石
CCTG100S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG100S-002(5m) バイトンシール ICF70

ネオジウム磁石

CCTG100S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG100S-003(5m) メタルOリングシール
ICF70 ネオジウム磁石
CCTG100S
(測定子+コントローラ+ケーブル)
CCTG100S-004(5m) メタルOリングシール
ICF70 サマコバ磁石
測定子単体 (交換用内部電極) CCTGH100S-000 NW25、ICF70共通
測定子単体 CCTGH100S-001 バイトンシール NW25
ネオジウム磁石
測定子単体 CCTGH100S-002 バイトンシール ICF70
ネオジウム磁石
測定子単体 CCTGH100S-003 メタルOリングシール
ICF70 ネオジウム磁石
測定子単体 CCTGH100S-004 メタルOリングシール
ICF70 サマコバ磁石
CCTG100Sコントローラ単体 CCTGC100S-001 コントローラのみ
ケーブル単体 CCTG100SCBL-005 ケーブル(5m)のみ
ケーブル単体 CCTG100SCBL-010 ケーブル(10m)のみ

このページの一番上に戻る

真空計のTOPページに戻る