冷陰極電離真空計100Sセパレート型

	「コントローラ寸法図」（画像クリック）
	「ヘッド寸法図」（画像クリック）

コールドカソードタフゲージの特長

CCTGは冷陰極真空計でありながら、陰極を加熱することが特長です。

有機性ガスによる汚染や腐食性の雰囲気に耐えられる信頼性の高い電離真空計です。

陰極を加熱することで、汚染物質がカソード表面に付着するのを防ぎ（陰極表面を清浄に保つ）、放電持続性、放電スタート性を向上させました。

また、従来の電離真空計では計測不能なエッチングガス（ＣＦ４＋Ｏ２混合ガス約０．０１Ｐａ）において他社の陰極真空計の比感度が5日目で半分以下に低下したのに対し、CCTGは100日間以上経過しても感度低下は全く生じません。下グラフを参照下さい。

CF4 + O2 混合ガス連続計測におけるCCTGと市販真空計の標準真空計に対する比感度推移

真空計感度比較表

①陰極加熱構造（特許申請中）

・汚染、腐食性ガス中でも感度低下せず動作可能

・過酷な使用環境・超高真空でも安定した放電を維持・開始

CCTG概念図

②脱ガス、セルフクリーニングできる冷陰極真空計

・熱陰極真空計のように脱ガス時はカソードを約900℃までフラッシュ加熱

・タフモード（常時加熱モード300℃～700℃）を使用し、常時クリーニング可

加熱中（約900℃）Si-ＳｉCカソード

加熱中（約900℃）のSi-ＳｉCカソード

③高信頼、ワイドレンジ、低漏洩磁束・低漏洩磁束（周囲200G以下）でドライバーがくっつきません

④圧力計測に最適な電圧に自動制御（特許申請中）

・独自のソフトウェア制御で、電圧の最適制御を行い電極のダメージを最小限に留め、高いリニアリティーと高いレスポンスを両立

名称	コールドカソードタフゲージ100S （Cold Cathode Tough Gauge　100S）
圧力測定範囲(N2)	1ｘ10^-8Pa ～ 0.2Pa　（ICF70フランジ使用時）
表示圧力単位	Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源	AC85V～240V
消費電力	最大消費電力：40ＶＡ（5mケーブル、デガス時）測定時消費電力：20VA（5mケーブル、500℃タフモード時）
漏洩磁束	ヨーク面から1ｃｍで200ガウス以下
バイアス	5kV～500V最適制御（計測圧力に最適な電圧に自動制御）
タフモード（汚染防止）	カソードの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード	カソードを９００℃に通電加熱
コントローラ使用温度範囲	0～40℃
外部入力信号	測定ON/OFF デガスON/OFF タフモードON/OFF
外部出力信号	アナログ圧力信号(0-10V,2ｃｈ) セットポイント接点ｘ２系統（フォトモスリレーによるａ接点）測定状態信号、アラーム信号
コントローラ外形寸法	1/4ラックサイズ（3U）、奥行230mm
質量	測定子NW25タイプ　910g、ICF70タイプ1.2Kg、コントローラ1.3Kg
入出力コネクタ	D-sub15ピン、 USBコネクタ、HUコネクタ、HTコネクタ
接続フランジ	NW25（NW25KF）、ICF70（NW40CF）の２タイプ
外部通信	RS232C、USB
センサケーブル	３芯特殊ケーブル５ｍ　（長さ任意製作可）