産業機器ソリューション

複合真空計 TG102CS

 

本製品は生産終了いたしました。

 

本製品は、測定子にB-A型電離真空計(タフゲージ)とピラニ真空計を搭載したセパレート型のコンビネーションタフゲージです。
  
複合型真空計TG102CS
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コントローラ寸法図」(画像をクリック)

複合型真空計TG102CS外形図

センサーケーブル仕様」 (画像クリック)

 センサーケーブル仕様

 

TG102CS 基本仕様

 
名称 タフゲージ102CS (ToughGauge 102CS)
圧力測定範囲(N2)

1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)

表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC100~240V
消費電力

測定時:28W(イオンゲージ、タフモード500℃)

5.3W(ピラニ/TG-102CS)
※センサケーブル5mの場合

測定フィラメント ピラニ真空計: タングステン・フィラメント 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 28μA、5mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm
質量 1.2kg
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF)及びICF70(NW40CF) 【特注品】
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 5m,10m【特注品】
※仕様は予告なく変更する場合があります。
 

TG102CS関連製品型番

 
品名 型番 仕様・備考

TG102CS

(測定子+コントローラ+ケーブル)

TG102CS-001(5m) NW25,ケーブル5m

TG102CS

(測定子+コントローラ+ケーブル)

TG102CS-002(5m)【特注品】

ICF70,ケーブル5m
測定子単体 TGH102CS-001 測定子NW25のみ
測定子単体

TGH102CS-002【特注品】

測定子ICF70のみ
TG102CSコントローラ単体 TGC102CS-001 コントローラのみ
ケーブル単体 TG102CSCBL-005 ケーブル(5m)のみ
ケーブル単体

TG102CSCBL-010【特注品】

ケーブル(10m)のみ