産業機器ソリューション

複合真空計 TG103CS

 

本製品は生産終了いたしました。

 

TG103CSはコンビネーション型で、白金・イリジウム製のピラニゲージとB-A型電離真空計タフゲージを同じ測定子内に内蔵しています。 測定子とコントローラをケーブルで接続するセパレートタイプです。タフゲージは各電極を高温に加熱しながら測定する<特許技術>タフモードを備え、有機性汚染雰囲気中でも感度低下を起こしにくく、長期間、高精度で測定することが可能です。

 

コンビ真空計「ピラニ+電離真空計」

103_image01.jpg

「センサーケーブル仕様」

 103_cable.jpg

 ※画像をクリックすると拡大画像がご覧いただけます。

 

コンビネーション型真空計TG103CSの特長

・測定範囲1x10-7Pa ~10+5Pa

・ピラニ真空計からB-A型真空計タフゲージに自動切換

・Windowsアプリケーションでログ管理

 

TG103CS基本仕様

 
名称 タフゲージ103CS (ToughGauge 103CS
圧力測定範囲(N2)

1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)

表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC100~240V
消費電力

測定時:16.5W(5mケーブル使用時)

※センサケーブル5mの場合

測定フィラメント ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 42μA、2.5mA(自動切換)
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード

グリッドとコレクタを900℃に通電加熱(デガス時間2分)

使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行292.5mm
質量

コントローラ:1.6kg 

測定子NW25:120g ICF70:410g

入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) 
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 5m
※仕様は予告なく変更する場合があります。
 

TG103CS関連製品型番

 
品名 型番 仕様・備考

TG103CS(測定子+コントローラ)

Tg103CS-001

NW25

(ケーブル別売)

TG103CS(測定子+コントローラ)

Tg103CS-002

ICF70

(ケーブル別売)

測定子単体 TgH201C-001 測定子NW25
測定子単体

TgH201C-002

測定子ICF70
Tg103CSコントローラ単体 TgC103CS-001 コントローラ
ケーブル単体 Tg103CBL-005 ケーブル(5m)

 

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