産業機器ソリューション

複合真空計 TG103CS

 

複合真空計    ピラニ + 電離 (セパレート型)


2012年8月発売予定

本製品は、測定子にB-A型電離真空計(タフゲージ)とピラニ真空計を搭載したセパレート型のコンビネーションタフゲージです。
コンビ真空計「ピラニ+電離真空計」
※画像をクリックすると拡大画像がご覧いただけます。
コントローラ寸法図」(画像をクリック)

コントローラ寸法図

センサーケーブル仕様」 (画像クリック)

 センサーケーブル使用

 

TG103CS基本仕様

 
名称 タフゲージ103CS (ToughGauge 103CS)
圧力測定範囲(N2)

1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)

表示圧力単位 Pa、Torr、mbar で切り替え可
入力電源 AC100~240V
消費電力

測定時:−−W(イオンゲージ、タフモード500℃)、


W(ピラニ)


最大   −−W(デガス時)
※センサケーブル5mの場合

測定フィラメント ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 28μA、5mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,2ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm
質量 1.2kg
入出力コネクタ D-sub15ピン、 USBコネクタ
接続フランジ NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) 
外部通信 RS232C、USB
センサケーブル 5m,10m
※仕様は予告なく変更する場合があります。
 

TG103CS関連製品型番

 
品名 型番 仕様・備考

TG103CSセット

(測定子+コントローラ+ケーブル)

TG103CS-001(5m) NW25,ケーブル5m

TG103CSセット

(測定子+コントローラ+ケーブル)

TG103CS-002(5m)

ICF70,ケーブル5m
測定子単体 TGH201C-001 測定子NW25のみ
測定子単体

TGH201C-002

測定子ICF70のみ
TG103CSコントローラ単体 TGC103CS-001 コントローラのみ
ケーブル単体 TG103CSCBL-005 ケーブル(5m)のみ
ケーブル単体

TG103CSCBL-010

ケーブル(10m)のみ

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