複合真空計 TG103CS
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複合真空計 ピラニ + 電離 (セパレート型)
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2012年8月発売予定
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| 本製品は、測定子にB-A型電離真空計(タフゲージ)とピラニ真空計を搭載したセパレート型のコンビネーションタフゲージです。 |
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※画像をクリックすると拡大画像がご覧いただけます。
「コントローラ寸法図」(画像をクリック)
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「センサーケーブル仕様」 (画像クリック)

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TG103CS基本仕様
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| 名称 |
タフゲージ103CS (ToughGauge 103CS) |
| 圧力測定範囲(N2) |
1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)
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| 表示圧力単位 |
Pa、Torr、mbar で切り替え可 |
| 入力電源 |
AC100~240V |
| 消費電力 |
測定時:−−W(イオンゲージ、タフモード500℃)、
W(ピラニ)
最大 −−W(デガス時) ※センサケーブル5mの場合
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| 測定フィラメント |
ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本 B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本 |
| エミッション電流 |
28μA、5mA |
| タフモード(汚染防止) |
グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定 |
| デガスモード |
グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 |
| 使用温度範囲 |
0~40℃ |
| 入力信号 |
測定ON/OFF デガスON/OFF タフモードON/OFF |
| 出力信号 |
アナログ圧力信号(0-10V,2ch) セットポイント接点×2ch アラーム接点 |
| 外形寸法 |
1/4ラックサイズ(3U)、奥行230mm |
| 質量 |
1.2kg |
| 入出力コネクタ |
D-sub15ピン、 USBコネクタ |
| 接続フランジ |
NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) |
| 外部通信 |
RS232C、USB |
| センサケーブル |
5m,10m |
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※仕様は予告なく変更する場合があります。
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TG103CS関連製品型番
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| 品名 |
型番 |
仕様・備考 |
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TG103CSセット
(測定子+コントローラ+ケーブル)
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TG103CS-001(5m) |
NW25,ケーブル5m |
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TG103CSセット
(測定子+コントローラ+ケーブル)
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TG103CS-002(5m)
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ICF70,ケーブル5m |
| 測定子単体 |
TGH201C-001 |
測定子NW25のみ |
| 測定子単体 |
TGH201C-002
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測定子ICF70のみ |
| TG103CSコントローラ単体 |
TGC103CS-001 |
コントローラのみ |
| ケーブル単体 |
TG103CSCBL-005 |
ケーブル(5m)のみ |
| ケーブル単体 |
TG103CSCBL-010
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ケーブル(10m)のみ |
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