産業機器ソリューション

複合真空計 TG200C

真空計 タフゲージ200Cの概観

TG200C_01JPG.JPG

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複合型真空計TG200C外形図

TG102CS基本仕様

名称 タフゲージ200C (ToughGauge 200C)
圧力測定範囲(N2) 1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)
入力電源 DC24V
消費電力

測定時 22W(イオンゲージ、タフモード500℃)

7.5W(ピラニゲージ)、最大 38W(デガス時)

測定フィラメント ピラニ真空計: タングステン・フィラメント 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 42μA、2.5mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 エミッションON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,1ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 上記図参照
質量 285g
入出力コネクタ D-sub15ピン
接続フランジ NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) 【特注品】
外部通信 RS232C
画面表示 なし
※仕様は予告なく変更する場合があります。

TG102CS関連製品型番

品名 型番 仕様・備考
TG200Cセット (測定子+コントローラ) TG200C-001 NW25
TG200Cセット (測定子+コントローラ)

TG200C-002

【特注品】

ICF70
TG200Cコントローラ単体 TGC200C-001 コントローラのみ
測定子単体 TGH102CS-001 NW25
測定子単体

TGH102CS-002

【特注品】

ICF70

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