産業機器ソリューション

複合真空計 TG201C(トランスミッタ型 表示部無)

白金・イリジウム製のピラニゲージとB-A型タフゲージを同じ測定子内に納め、超高真空領域から大気まで1台で測定が可能な真空計。ピラニゲージ⇔タフゲージへの切り替えは自動制御で、測定開始入力信号や測定開始の操作は不要。 タフゲージは各電極を高温に加熱しながら測定する<特許技術>タフモードを備え、有機性汚染雰囲気中でも感度低下を起こさず、長期間、高精度での測定が可能です。

 

【複合型真空計TG201Cの特長】

◆ピラニ真空計からB-A型真空計タフゲージに自動切換
◆ピラニ真空計のゼロ点を、B-A稼動時に自動調整
◆有機性汚染ガス中で感度が低下せず長持ちするので、メンテナンスの手間とコストを削減・経済的
◆Windowsアプリケーションソフトウェアでログ管理(表示器経由でPCか、直接PCへ接続可)

 

真空計 タフゲージ201Cの概観

 

複合真空計TG201C

※画像をクリックすると拡大画像がご覧いただけます。
真空計TG201C概観図

TG201C基本仕様

 
名称 タフゲージ201C (ToughGauge 201C)
圧力測定範囲(N2) 1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時)
入力電源 DC24V
消費電力

測定時 22W(イオンゲージ、タフモード500℃)

7.5W(ピラニゲージ)

最大  38W(デガス時)

測定フィラメント ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本
B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本
エミッション電流 42μA、2.5mA
タフモード(汚染防止) グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定
デガスモード グリッドとコレクタを900℃に通電加熱
使用温度範囲 0~40℃
入力信号 測定ON/OFF
デガスON/OFF
タフモードON/OFF
出力信号 アナログ圧力信号(0-10V,1ch)
セットポイント接点×2ch
アラーム接点
外形寸法 上記図参照
質量 285g
入出力コネクタ D-sub15ピン
接続フランジ NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF)
外部通信 RS232C
画面表示 なし
※仕様は予告なく変更する場合があります。
 

TG201C関連製品型番

 
品名 型番 仕様・備考
TG201C(測定子+コントローラ) TG201C-001 NW25

TG201C(測定子+コントローラ)

TG201C-002

ICF70
TG200Cコントローラ単体 TGC201C-001 コントローラのみ
測定子単体 TGH201C-001 測定子NW25のみ
測定子単体

TGH201C-002

測定子ICF70のみ

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