| 名称 |
タフゲージ201C (ToughGauge 201C) |
| 圧力測定範囲(N2) |
1x10-7Pa ~10+5Pa (ICF70フランジ使用時) |
| 入力電源 |
DC24V |
| 消費電力 |
測定時 22W(イオンゲージ、タフモード500℃)
7.5W(ピラニゲージ)
最大 38W(デガス時)
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| 測定フィラメント |
ピラニ真空計: 白金・イリジウム合金 1本 B-A型真空計: イットリアコート・イリジウム・フィラメント 1本 |
| エミッション電流 |
42μA、2.5mA |
| タフモード(汚染防止) |
グリッドとコレクタの温度を300、500、700℃またはOFFに設定 |
| デガスモード |
グリッドとコレクタを900℃に通電加熱 |
| 使用温度範囲 |
0~40℃ |
| 入力信号 |
測定ON/OFF デガスON/OFF タフモードON/OFF |
| 出力信号 |
アナログ圧力信号(0-10V,1ch) セットポイント接点×2ch アラーム接点 |
| 外形寸法 |
上記図参照 |
| 質量 |
285g |
| 入出力コネクタ |
D-sub15ピン |
| 接続フランジ |
NW25(NW25KF) 及び ICF70(NW40CF) |
| 外部通信 |
RS232C |
| 画面表示 |
なし |