産業機器ソリューション

真空計 タフゲージの特長


タフモードはグリッド(白金被覆モリブデン)とコレクタ(白金被覆モリブデン)を300、500、700℃の温度いずれかを選択して加熱します。オフモードは両電極の加熱を停止します。デガスモードは900℃で両電極を加熱します。圧力信号を取り出すコレクタ電極はヘアピン形状で高絶縁の新方式高周波通電で加熱し圧力計測に影響を与えません。


長寿命真空計 タフゲージの特長

1.有機性汚染ガス中で感度が低下しない
  • コレクターとグリッドを加熱しながら圧力を測定します。
    (有限会社真空実験室特許・特願の許諾に基づく)
  • 汚染物質が電極に吸着するのを防ぎ、高精度の圧力測定が長期間にわたり可能です。
  • 電極温度は300℃,500℃,700℃(タフモード)の3段階で選択が可能です。(デガスは900℃)
 
2.常に真の圧力を表示
  • 電極を清浄に保つので電子/イオンの軌道が安定し感度の変化が少なくなります。
  • グリッドを加熱することにより、電子衝撃脱離(ESD)誤差が排除され10-5Pa以下も正確に測定します。
3.メンテナンスフリーで経済的
  • 感度低下がなく長期間測定子の交換が不要です。
  • フィラメントは2本あり、フィラメント1が断線した時にはフィラメント2へ自動で切換えます。
  • 測定中に測定圧力の限界を越える圧力上昇には保護回路が働いて、瞬時にフィラメント電流をオフします。
4.コンパクト設計
【TG100,101,200C】
  • トランスミッター型の直付け方式で、遠方からでも見やすい大型表示器です。
  • フランジの方向を上下左右どちら向きに取り付けても天地の表示設定が可能です。
    (TG200Cは表示器無し。)

【TG102S,102CS,CCTG100S】
  • ケーブル接続で最長10mまで引き回し可能です。
  • 標準ラックマウントサイズ(1/4、3Uサイズ)
 
5.PCアプリケーションによるログ取得
6.校正証明書を添付
  • 国家標準で校正されたスピングローターゲージを使用して、比較校正を全品行います。 (CCTGには校正証明書を添付いたしません。)
感度が低下しない真空計
異常が発生しない真空計
表示が切り換わる
ケーブル接続

真空計タフゲージの用途


タフゲージは下記のような用途に適しています。

既存製品をご使用されるよりも更に精度の高い測定とメンテナンス負荷の大幅低減が可能となります。


  • 真空蒸着装置
  • スパッタ装置
  • イオン注入装置
  • LPCVD装置
  • 真空炉
  • 電子顕微鏡
  • 質量分析装置
  • 加速器
  • 真空排気装置
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株式会社アンペール
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