産業機器ソリューション

真空計 導入事例


長寿命の真空計「タフゲージ」を実際にご採用頂いたお客様の使用事例です。




薄膜形成装置メーカ様


《スパッタ装置等を開発する薄膜形成装置メーカ》

・国産技術による信頼性・耐久性に優れた真空計を探していた。


タフゲージ CCTG100S(写真)及びTG200Cを評価


皮膜形成装置メーカ




計測器メーカ様


ご担当者様のコメント

「高濃度シロキサン環境下で、他メーカ真空計では1週間程度の寿命。
タフゲージは半年経過しても問題なく稼働している。」


タフゲージ TG100 TG102CS

計測器メーカ


真空機メーカ様


・有機性汚染物質を扱う真空装置。


タフゲージ TG100

真空機メーカ


国立大学 マテリアル工学科様


《研究用加熱炉、スパッタ装置》

ご採用者様のコメント

「性能は高く、操作性も非常に良い。非常にタフなので、 学生が起こしやすい操作ミス (大気中でエミッションON等) にも耐えられる。」

タフゲージ TG100

国公立マテリアル工学科


私立大学様


ご採用者様のコメント

「付属のアプリケーションソフトで

圧力データログがとれるところが使いやすい。」

タフゲージ TG100


私立大学

タフゲージは下記のような用途に適した真空計です。

高い精度に加え、長寿命なタフゲージはお客様のメンテナンス負荷を大幅軽減します。

 

  • 真空蒸着装置
  • スパッタ装置
  • イオン注入装置
  • LPCVD装置
  • 真空炉
  • 電子顕微鏡
  • エッチング装置
  • 加速器
  • 真空排気装置
資料請求、製品ご質問、評価機貸し出し等 お気軽にお問い合わせ下さい
アンペール
株式会社アンペール
お問い合わせ:
TEL:0296-77-6188
WEBから: お問い合わせフォームへ

このページの一番上に戻る