真空計 導入事例
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長寿命の真空計「タフゲージ」を実際にご採用頂いたお客様の使用事例です。
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薄膜形成装置メーカ 様
・スパッタ装置等を開発。
・国産技術で信頼性・耐久性に優れた真空計を求め、
タフゲージを検討中。
・ＣＣＴＧ１００Ｓ（写真）及び ＴＧ２００Ｃを評価。
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計測器メーカ様
・高濃度シロキサン環境下で半年稼動。
・ＴＧ１００, ＴＧ１０２ＣＳを評価。
（他メーカ真空計では１週間程度の寿命だった。）
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真空機メーカ 様
・有機性汚染物質を扱う真空装置。
・ＴＧ１００を使用。
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国立大学 マテリアル工学科様
・研究用加熱炉、スパッタ装置。
・ＴＧ１００を使用。
・性能は高く、操作性も非常に良い。非常にタフなので、
学生が起こしやすい操作ミス （大気中でエミッションＯＮ等）
にも耐えられる。
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私立大学 様
・「付属のアプリケーションソフトで圧力データログがとれるところが使いやすい。」
・ＴＧ１００を使用。
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タフゲージは下記のような用途に適した真空計です。
高い精度に加え、長寿命なタフゲージはお客様のメンテナンス負荷を大幅軽減します。
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- 真空蒸着装置
- スパッタ装置
- イオン注入装置
- ＬＰCVD装置
- 真空炉
- 電子顕微鏡
- 質量分析装置
- 加速器
- 真空排気装置
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 株式会社アンペール |
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