T and A
 

T&A (Transmission Analyzer) ガス透過率測定装置


世界最高水準の感度で水蒸気透過率の計測が可能


水蒸気透過率10-7g/m2/dayレベルの絶対量測定を実現しました。



有機ELは水蒸気や酸素により性能が劣化するため、水蒸気透過率 10-6g/m2/day レベルのバリア性能を有するバリア材が必要とされています。 近年のフレキシブル有機ELディスプレイの開発に必要不可欠なフレキシブルバリアフィルムの開発、 製品の品質管理に大きく貢献する装置となり得ます。
T&Aは国立研究開発法人・産業技術総合研究所との共同研究の結果取得した特許により、 トレーサビリティの確保による信頼性の高い世界最高水準の感度で絶対量を短期間に測定します。


特長


世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測
水蒸気透過率10-7g/m2/dayレベルの測定が可能
超高真空技術を応用した差圧法(JIS K 7126-1準拠)により実現
絶対量校正(特許)トレーサビティの確保、校正による絶対量測定が可能
計測準備時間が非常に短い
リアルタイムに透過率をグラフ化
ランニングコストの大幅な低減
水蒸気以外の各種ガスや混合ガスの透過率測定が可能


世界最高水準の感度で水蒸気透過率を計測


水蒸気透過率10-7g/m2/dayレベルの絶対量測定を実現しました。
超高真空技術を搭載した差圧式測定・バックグラウンドの水蒸気を低減し、世界最高水準の 感度で水蒸気透過率を計測できます。

通常の測定室壁面には大量の水蒸気が吸着しています。水蒸気透過率10-5g/m2/dayレベル 以下の透過水蒸気の測定には測定室内のバックグラウンド水蒸気の低減が必須です。 加熱ヒータによるベーキングと、2台のターボ分子ポンプを直列に搭載して、排気性能を 向上させています。
測定室内のバックグラウンド水蒸気を極限まで低減することにより、10-7g/m2/dayレベルの 水蒸気透過率測定が可能です。





絶対量校正 (特許:6281915号)


産業技術総合研究所で校正された標準コンダクタンスエレメントを使用しています。
標準コンダクタンスエレメントにより、質量分析器の絶対量校正が可能です。
標準コンダクタンスエレメントは質量分析器へ任意の絶対量の水蒸気やガスを導入できます。
質量分析器の絶対量校正を行うことで、信頼性の高い測定が可能になりました。

標準コンダクタンスエレメント




リアルタイムに透過率をグラフ化 (Option:Windowsアプリ)


専用のWindowsアプリ「WVTR Viewer」は測定作業を容易にします。
水分透過率(WVTR)グラフをリアルタイム表示
データの自動ロギング
グラフのメモ、プリントスクリーン等




計測準備時間が非常に短い


従来の方式による計測準備時間は1ヶ月程要するケースが有ります。
本装置の方式、超高真空技術を使った差圧法により劇的に準備時間を24時間程度 に短縮しました。
準備時間の短縮は、新製品の開発サイクルを大幅に短縮し、生産性を向上させます。
上記条件の試料を検査した場合 T&A の生産性は約 8 倍になります。

測定準備時間
(day)
測定時間
(day)
Total
(day)
従来方式 21 2 23
T&A 1 2 3


ランニングコストの大幅な低減


従来方式は、試料測定前に試料室に吸着した水分等のアウトガスを除去するために、 高価な超高純度窒素によるパージガスを3週間程流す必要があり、ランニングコスト は1件当たり数十万円になります。
超高真空技術を使った差圧法は、超高純度窒素による連続したパージガスが不要に なり、ランニングコストが大幅に低減、装置の生産性が大幅に上がります。
生産性の向上により設備、メンテナンス等の運用費が削減されます。


水蒸気以外の各種ガスや混合ガスの透過率測定が可能


T&Aは四重極質量分析器により水蒸気、酸素、窒素、ヘリウムなど個別の ガスの透過率の測定が可能です。
また、混合ガスから個々の成分の透過率の同時測定も可能です。